tecnología 66 TECNOLOGÍA LÁSER Procesado Ito-Vidrio Otro material con el que hemos trabajado es ITO (Indium- tin oxide), recubrimiento conductivo depositado sobre vi- drio, empleado en un amplio rango de sectores industriales dedicados a la investigación-aplicación de OLED, películas delgadas de células solares, impresos electrónicos, pantallas táctil, etc. El objetivo es la eliminación de forma selectiva de una capa de ITO empleando una fuente láser sin dañar el sus- trato, en este caso vidrio, ni la capa de ITO adyacente a la zona procesada. Aido ha desarrollado una intensa actividad investigadora durante el último año sobre las últimas técnicas de microprocesado y microfabricación aditiva con láseres de pulsos ultracortos Medidas tomadas con el mi- croscopio confocal, a) Topo- grafia de los pulsos obtenidos para una potencia del 1 W y una velocidad de 6000mm/s. b) perfil de uno de los surcos obtenido, de profundidad 60 nm. Medidas tomadas con el mi- croscopio confocal, a) Topo- grafia de los pulsos obtenidos para una potencia del 2 W y una velocidad de 6.000 mm/s. b) perfil de uno de los surcos obtenido, de profundidad 100 nm. Medidas tomadas con el mi- croscopio confocal a) Imagen topográfica del surco genera- do en el ITO, b) Perfil del surco de anchura 11,6 μm y profundidad de 162,2 nm.