tecnología 64 TECNOLOGÍA LÁSER Algunos resultados obtenidos Imágenes tomadas con el microscopio confocal: medidas topográficas y perfi- les de la ranura realizada en fused sili- ca a diferentes velocidades de avance del haz láser. Imágenes tomadas con SEM de uno de los taladros realizados en vidrio borosilicato. Derecha: Deta- lle del borde tomada con SEM, no se observan grietas ni fisuras. Imágenes 3D y perfil de cavidad realizada en fused silica. Se obtiene una profun- didad de 850 μm y anchura de 1 mm. Imágenes 3D y perfil del taladrado en fused silica. Diámetro en la cara de salida de 880μm y de 1mm en la cara de en- trada de 2 mm. Vidrio borosilicato de espesor 1,09 mm con un array de taladros a la entrada de 1mm de diámetro. Dere- cha: Detalle amplia- do de los taladros.